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内的科研水平还没达到这种程度，不然华威如今也不会陷入无芯可用的困苦境地。
而种科院也不会提出要把亚墨利加的“卡脖子”清单变成攻坚清单，国家队都入场了，可想而知光刻机的研制有多么困难。
但是裘弘盛还是鬼使神差的点了进去，没办法，这标题取得太好了，就当是放松一下好了。
【半导体产业是高科技、信息化时代的支柱。光刻技术,作为半导体产业的核心技术之一,已成为世界各国科研人员的重点研究对象。本文综述了激光等离子体1-3nm极紫外光刻的原理和最新研究进展,重点介绍了其激光源、辐射靶材和多层膜反射镜等关键系统组成部分……】
顺着摘要往下看，原本抱着看笑话心态的裘弘盛脸上的表情慢慢变得严肃，然后变得震惊，最后变得激动起来。
他大学读的是京大物理系，研究生又读的水木大学的激光专业，自然能看得出来这片论文所要阐述的内容。
如果这篇论文所述的研究进展是真的话，那么，国家在光刻机光源上所遇到的问题将迎刃而解。
这篇论文，除了没有文献引用之外，其他的简直堪称完美。
而反过来说，因为没有文献引用，这篇论文又显得更加牛逼。
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