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大国芯 第80章 浸入式光刻机(2/2)

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机还没有到达它的上限,再加上国外目前虽然对浸入式光刻机技术有过研究,但目前使用的浸入液是环辛烷之类的液体。

    导致人们因为对浸入液的充入、镜头的沾污、光刻胶的稳定性和气泡的伤害等关键问题缺乏了解,国外的相关实验室因此并未对浸入式光刻展开深入的研究。

    他完全可以趁机从这方面着手,在已有的干式光刻机的基础上探索浸入式光刻机技术,从而实现弯道超车。

    于是他立马有了主意,对吴铭道:“是要做点什么,你看这样如何?

    虽然研发上我们没有那么多钱,但我们可以先找一些这方面的人才进行预研。

    等过几年我们有了资本,能够支撑起光刻机的研发,我们再回头搞光刻机的研发工作,到时候预研正好能直接为我们节省下大量的时间。”

    吴铭一听孙毅要预研,惊喜地问他道:“你准备与中科院光电所合作?”

    孙毅却是摇了摇头道:“不,我们自己干。”

    想到浸入式光刻机的未来的广阔前景,他决定先要把相关专利掌握在自己手中,再决定选择和谁合作。

    哪怕到时候国内光刻机技术还是无法赶上,他也能凭借掌握的浸入式光刻机专利,在国际上纵横捭阖,得到他想要的光刻机设备。

    吴铭不知道孙毅的私心,却在担忧其它方面。

    他皱着眉头,忧心忡忡地问孙毅道:“你总不能到45所,中科院光电所去挖人吧!

    咱们可不能因为挖人,把这两家给得罪了,日后我们在光刻机上还要指望他们帮忙的。”
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